當(dāng)前位置：超高純特氣的實驗室管道安裝需采用銹鋼雙層管道工藝，如磷烷，砷烷、乙硼烷、六氟化鎢等，這些特殊氣體是精密半導(dǎo)體電子元器件、新能源光電產(chǎn)品制造的必不可少的重要原料，但是這些特殊氣體也多數(shù)具有易燃、劇毒、強腐蝕等特征，所以在使用中要尤其注意避免泄漏。實驗室內(nèi)采用相關(guān)特氣，管道安裝需采用銹鋼雙層管道工藝，避免出現(xiàn)氣體泄露造成產(chǎn)品質(zhì)量和人身傷亡事故。
銹鋼雙層管道工藝在實驗室氣體管道安裝中對各方面作業(yè)要求比較高，要求焊接和安裝質(zhì)量合理，要求作業(yè)環(huán)境內(nèi)要保證一定的潔凈度，要求管道自身內(nèi)外要保持潔凈。超高純特氣的實驗室管道安裝，首先對管道的加工有嚴(yán)格要求，其中管口的加工是技術(shù)的關(guān)鍵點之一，管道切割、預(yù)制均在潔凈環(huán)境進行，同時確保管道切割前表面無有害痕跡、破損。管道開封前應(yīng)做好管內(nèi)沖氮的準(zhǔn)備工作。其次是雙套管加工過程中環(huán)境的潔凈程度，現(xiàn)場設(shè)置三段預(yù)制加工潔凈區(qū)域，建立臨時潔凈室，要求凈化等級不低于9級，確保管件加工的潔凈度，進入潔凈室的人員必須穿戴潔服、潔凈帽、潔凈鞋、潔凈手套等。
特種氣體要求超純、超凈，而純度每提升一個 N 以及粒子、金屬雜質(zhì)含量濃度每降低一個數(shù)量級都將帶來工藝復(fù)雜度和難度的顯著提升。實驗室管道安裝采用雙套管工藝，是將工藝管線采用1/4管路輸送，在其外部再套一個1/2的外管進行防護，管道加工采用水平15°傾斜擺放姿勢，不銹鋼彈簧填充雙層管夾層后用專用彎管裝置進行彎管加工，管道與配件及設(shè)備連接安裝采用金屬墊片面密封接頭安裝，確保密封嚴(yán)密。為了確保整個系統(tǒng)的可靠性與密閉性，除氣體管道系統(tǒng)的設(shè)計安裝保證規(guī)范，還應(yīng)該具備氣體安全偵測系統(tǒng)，可以做到氣體泄露偵測，震動報警等功能。
